Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)

Проценко, Іван Юхимович; Однодворець, Лариса Валентинівна

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77600

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Authors	Protsenko, Ivan Yukhymovych Odnodvorets, Larysa Valentynivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-8112-1933
Keywords	мікроелектроніка микроэлектроника microelectronics плівкові матеріали плёночные материалы film materials
Type	Schoolbook
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77600
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Електронний ресурс]: навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. — Електронне видання каф. Електроніки, загальної та прикладної фізики. — Суми: СумДУ, 2020. — 231 с.
Abstract	У навчальному посібнику подані навчально-методичні матеріали і завдання до виконання циклу лабораторних практикумів "Технологія тонких плівок", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів" і "Основи опто- і мікроелектроніки" та проведення практичних і семінарських занять із курсів "Технологія наноструктурованих матеріалів", "Фізичні властивості плівкових матеріалів", "Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів", "Датчики неелектричних величин" та "Основи мікроелектроніки". Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів денної і заочної форм навчання в галузі "Електроніка та телекомунікації".
Appears in Collections:	Навчальні та наукові видання видавництва СумДУ