Вплив імплантації іонів Au- в багатошарові (TiAlSiY)N/CrN покриття на структуру та властивості

Остольський, В.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77817

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив імплантації іонів Au- в багатошарові (TiAlSiY)N/CrN покриття на структуру та властивості
Authors	Остольський, В.В.
ORCID
Keywords	іонна імплантація ионная имплантация ion implantation імплантація важких іонів имплантация тяжёлых ионов implantation of heavy ions багатошарове покриття многослойное покрытие multilayer coatings
Type	Bachelous Paper
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/77817
Publisher	Сумський державний університет
License
Citation	Остольський, В.В. Вплив імплантації іонів Au- в багатошарові (TiAlSiY)N/CrN покриття на структуру та властивості: робота за здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 153 – мікро- та наносистемна техніка / В.В. Остольський; наук. керівник О.Д. Погребняк – Суми: СумДУ, 2020. – 30 с.
Abstract	Мета роботи полягала у проведенні дослідження структури багатошарового покриття (TiAlSiY)N/CrN після імплантації негативних іонів Au. Робота присвячена вивченню іонної імплантації, як способу покращення фізичних властивостей багатошарових наноструктурних покриттів. Її актуальність зумовлена більш детальним вивченням захисних покриттів високої якості для різного виду протезів.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)