Датчики сили та тиску на основі плівкових матеріалів

Abstract

Об'єктом дослідження кваліфікаційної роботи бакалавра є тензорезистивні властивості плівкових матеріалів та їх застосування у датчиках сили та тиску. Мета роботи – полягає у вивченні структури та електрофізичних властивостей плівкових тензодатчиків та їх застосування у сучасній сенсорній техніці та електронному приладобудуванні. Робота складається із вступу, основної частини із трьох розділів та висновків. У першому розділі приведено огляд тензометричних та ємнісних датчиків сили та тиску як первинних вимірювальних перетворювачів з високою часовою стабільністю, малою зміною їх показів у широкому температурному діапазоні та ін. У другому розділі стисло описано найбільш розповсюджених методів отримання, дослідження та моделювання плівкових тензодатчиків. В третьому розділі розглянуто конструктивно-технологічні особливості та тензорезистивні властивості плівкових тензодатчиків. Наведено чисельне моделювання механічних характеристик тензометричного плівкового елемента. Проведено розрахунок робочих характеристик тензодатчика, змодельовано деформаційний розподіл для визначення необхідного варіанта конструкції. При виконанні роботи використовувалося програмне середовище ANSYS, зокрема окремий модуль Static Structural.