Сенсорна система для вимірювання товщини плівкових матеріалів: конструкція, принцип функціонування, методика градуювання

Бердник, І.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/80334

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Сенсорна система для вимірювання товщини плівкових матеріалів: конструкція, принцип функціонування, методика градуювання
Authors	Бердник, І.О.
ORCID
Keywords	сенсори кварцовий резонатор інтерферометр сенсорна система лазерний рефлектометр тонка плівка
Type	Bachelous Paper
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/80334
Publisher
License	Copyright not evaluated
Citation	Бердник, І.О. Сенсорна система для вимірювання товщини плівкових матеріалів: конструкція, принцип функціонування, методика градуювання [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра: спец.: 171 – електроніка / І.О. Бердник; наук. керівник А.О. Степаненко. – Суми: СумДУ, 2020. – 29 с.
Abstract	Мета кваліфікаційної роботи бакалавра полягає в огляді методів вимірювання товщини тонких плівок та принципу роботи і конструкції сенсорних систем. Під час виконання роботи використовували аналіз сучасних літературних джерел та інтернет ресурсів, присвячених новим методам та технологіям вимірювання товщини тонких плівок. У результаті проведеного літературного аналізу визначено основні методи вимірювання товщини тонких плівок, їх переваги та недоліки та області застосування. Ця інформація наводиться в першому розділі. Другий розділ присвячений огляду сучасних сенсорних систем вимірювання товщини тонких плівок. В третьому розділі детально розглянуто мету градуювання сенсорних систем на основі методу кварцового резонатора та розглянута методика градуювання.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)