Сучасні методи одержання високого вакууму

Каіймах, А.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/80541

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Сучасні методи одержання високого вакууму
Authors	Каіймах, А.І.
ORCID
Keywords	вакуум vacuum високий вакуум высокий вакуум high vacuum вакуумні насоси вакуумные насосы vacuum pumps
Type	Bachelous Paper
Speciality	153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/80541
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Каіймах, А.І. Сучасні методи одержання високого вакууму [Текст]: робота за здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 6.153 – мікро- та наносистемна техніка / А.І. Каіймах; наук. керівник В.Б. Лобода – Суми: СумДУ, 2020. – 64 с.
Abstract	У результаті проведених досліджень в кваліфікаційній роботі висвітлені фізичні принципи роботи високовакуумних дифузійних, турбомолекулярних та магніторозрядних насосів, переваги і недоліки кожного виду насосів, описано особливості експлуатації вакуумних систем на їх основі. Робота викладена на 64 сторінках, зокрема містить 25 рисунків, 4 таблиці, список цитованої літератури із 11 джерел.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)