Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/81204
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Metastable States and Physical Properties of Boron-rich W-B films
Other Titles Метастабільні стани і фізичні властивості збагачених бором W-B плівок
Authors Bashev, V.F.
Ryabtsev, S.I.
Kruzina, T.V.
Popov, S.A.
Skorbyaschensky, E.S.
Potapovich, Yu.N.
Antropov, S.N.
ORCID
Keywords іонно-плазмове магнетронне розпилення
аморфний стан
метастабільні стани
W-B плівки
температурна стабільність
мікротвердість
ion-plasma magnetron sputtering
amorphous state
metastable states
W-B films
temperature stability
microhardness
Type Article
Date of Issue 2020
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/81204
Publisher Sumy State University
License In Copyright
Citation V.F. Bashev, S.I. Ryabtsev, T.V. Kruzina, et al., J. Nano- Electron. Phys. 12 No 6, 06016 (2020). DOI: https://doi.org/10.21272/jnep.12(6).06016
Abstract Представлені експериментальні дані по іонно-плазмовому (13.56 МГц) магнетронному напиленню складових мішеней системи W-B. Застосування зазначеного методу дозволяє отримувати напилені сплави в усьому концентраційному інтервалі їх складів. Напилені плівки ілюструють виникнення аморфного твердого стану. Розкладання аморфного стану супроводжується виділенням проміжної метастабільної, нанокристалічної W-фази з гранецентрованою кубічною структурою. За допомогою магнетронного напилення ми отримали аморфний стан в чистих W-плівках при кімнатній температурі. Досліджено метастабільні стани в W-B плівках, їх термічна стабільність, електричні і механічні властивості. В роботі показано, що аморфний стан в сплаві WB5 характеризується аномально високою температурною стійкістю і мікротвердістю. Метод іонно-плазмового розпилення продемонстрував свою ефективність в разі плівок вольфраму, показавши можливість отримання в них метастабільних фаз. Разом з тим, отримані значення мікротвердості в аморфному сплаві виявилися нижчими передбачених максимальних теоретичних значень внаслідок особливостей розташування атомів в сплаві.
The experimental data on the ion-plasma (13.56 MHz) magnetron sputtering of composite targets of the system W-B are presented. Application of this method allows one to obtain deposited alloys in the entire concentration range of compositions. The as-deposited films show the formation of an amorphous solid state. The decomposition of an amorphous state is accompanied by precipitation of an intermediate metastable, nanocrystalline W-phase with FCC-structure. By applying magnetron sputtering, we have obtained an amorphous state in pure W-films at room temperature. The thermal stability, electrical and mechanical properties of metastable states in W-B films are studied. The study shows that the amorphous state in the WB5 alloy is characterized by abnormally high temperature stability and microhardness. The ion-plasma sputtering method has demonstrated its effectiveness in the case of tungsten films, showing the possibility of obtaining metastable phases in them. At the same time, the obtained values of microhardness in the amorphous alloy turned out to be lower than the predicted maximum theoretical values due to the peculiarities of the location of atoms in the alloy.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Austria Austria
1
Belgium Belgium
1
Canada Canada
1
China China
826451
Germany Germany
1
Greece Greece
1
Ireland Ireland
9152
Lithuania Lithuania
1
Spain Spain
1
Sweden Sweden
1
Taiwan Taiwan
5939420
Turkey Turkey
1
Ukraine Ukraine
826448
United Kingdom United Kingdom
40908
United States United States
5939418
Vietnam Vietnam
1351

Downloads

Brazil Brazil
1
Canada Canada
1
China China
826448
France France
1
Germany Germany
826449
India India
1
Ireland Ireland
18302
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Philippines Philippines
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
267971
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
5939417
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Bashev_jnep_6_2020.pdf 381.23 kB Adobe PDF 7878597

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.