Лазерні мікро- і нанотехнології в електроніці

Abstract

Метою даної кваліфікаційної роботи було опис принципів роботи лазерів як систем квантової електроніки та їх застосування у процесах лазерної мікрообробки у галузі електроніки. Зазначена мета досягається шляхом аналізу літературних джерел щодо основ генерації лазерного випромінювання, режимів роботи різних видів лазерів, фізичних основ поглинання лазерного випромінювання та подальшим описанням варіантів застосування лазерів в технологічних процесах виготовлення деталей електроніки. В рамках роботи встановлено, що лазер є джерелом оптичного випромінювання генераторного типу. При генерації лазерного випромінювання відбувається поглинання, спонтанне та стимульоване випромінювання. Різні види лазерів відрізняються природою активного середовища. На сьогодні найбільш перспективними виявляються волоконні лазери, які мають широкий діапазон потужності та характеристик променя, гнучке перемикання, розщеплення та сканування променів. Визначено основні режими роботи лазерів та наведено декілька класифікацій лазерів. Показано, що сучасне виробничтво мікроелектроніки неможливе без застосування високоточного лазерного інструментарію.