Дифузійні процеси в плівкових матеріалах електроніки

Abstract

Одношарові та багатошарові плівкові структури набули величезного розповсюдження в багатьох напрямках. Їх застосовують в сучасній мікроелектроніці, мікросенсорній техніці, спінтроніці, тощо. На електрофізичні властивості елементів із плівкових матеріалів, як наприклад багатошарові системи, має вплив ряд факторів. Зокрема, вони визначаються ступенем взаємної розчинності атомів сусідніх шарів [1], і, навіть якщо незначної взаємної розчинності, дія зерномежової дифузії на електрофізичні властивості при відносно низьких температурах експлуатації приладів може бути досить суттєвим. Дифузія атомів однієї речовини в іншу призводить до зміни розсіювання електронів на межах зерен [2], а нанесення тонкого покриття на поверхню дозволяє змінювати умови поверхневого розсіювання носіїв заряду. При дослідженні електро- і магнітотранспортних властивостей плівкових систем у вигляді багатошарової плівки чи мультишару завжди велику увагу приділяють питанню про дифузійні процеси і фазоутворення на межі поділу окремих шарів (інтерфейсів) та їх стабільність, що залежить від цих процесів. Для зменшення дії цих факторів використовують різні експериментальні прийоми (конденсація бар’єрних шарів, низькотемпературне оброблення та інші.) у тому числі і підбір окремих компонентів, які відповідно до діаграм стану мають обмежену об’ємну розчинність.