Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt

Макаренко, К.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt
Authors	Макаренко, К.В.
ORCID
Keywords	газовий сенсор тришарова плівка магнетронне розпилення
Type	Masters thesis
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82015
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Макаренко, К.В. Високочутливий газовий сенсор на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного рівня магістра; спец.: 171 – електроніка / К.В. Макаренко; наук. керівник І.О. Шпетний. – Суми: СумДУ, 2020. – 37 с.
Abstract	Мета роботи полягає у аналізі особливостей при розробці конструкції високочутливого напівпровідникового газового сенсору на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt, у тому числі і на підкладці із гнучкого матеріалу, а також у вивченні його технічних характеристик, в тому числі при дії різних факторів. У роботі описані та проаналізовані особливості конструкції чутливого елементу напівпровідникового газового сенсора на основі тришарової плівки Pt/TiO2/Pt. Дана багатошарова плівкова система була отримана методом реактивного магнетронного розпилення на постійному струмі. Також при виготовленні сенсору виготовлявся метод фотолітографії. При вимірюванні електрофізичних властивостей сенсору (реакція зміни електроопору на концентрацію газу) використовувався автоматизований комплекс, що складається з газової камери, системи керування та реєстрації сигналу. Потік та концентрація газу були керовані двома контролерами, які керуються через програмне забезпечення.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)