Електрофізичні властивості багатошарових плівкових матеріалів електронної техніки

Abstract

Мета кваліфікаційної роботи магістра полягала у у аналізі результатів стосовно температурної залежності питомого опору багатошарових плівоких матеріалів електроніки та розрахунку термічного коефіцієнту опору та температурного коефіцієнта ТКО. У результаті проведеного аналізу літературних даних установлено, що ибір теоретичної моделі для апробації експериментальних даних для двошарових плівкових систем слід робити виходячи із того чи зберігається в системі індивідуальність окремих шарів, утворюється гомогенна система у вигляді плівкового сплаву по всій товщині вихідної двошарової системи, або формується двошарова система з проміжним біля інтерфейсу шаром плівкового сплаву. Аналіз результатів стосовно температурної залежності питомого опору і розрахунків ТКО для систем [Cr/Cu]n/П показав, що пи збільшенні n з 1 до 3 відбувається відносне зростання величини питомого опору (Δρ/ρ = 0,30-0,40) та відносне зменшення величини ТКО (Δβ/β = 0,31-0,38). Характер температурної залежності ТК ТКО та його величина визначаються харакетром залежності β(Т).