Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82848
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
Authors Honcharov, Maksym Mykolaiovych
Zykov, A.V.
Yunda, Andrii Mykolaiovych
Shelest, Ihor Vladyslavovych
Buranych, Volodymyr Volodymyrovych
ORCID
Keywords magnetron sputtering
deposition conditions
structure
substructure
hafnium diboride film
магнетронне розпорошення
параметри осадження
структура
субструктура
плівка дибориду гафнію
магнетронное распыление
параметры осаждения
структура
субструктура
плёнка диборида гафния
Type Article
Date of Issue 2020
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82848
Publisher G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics of the N.A.S. of Ukraine
License Creative Commons Attribution - NonCommercial - NoDerivatives 4.0 International
Citation A. A. Goncharov, A. V. Zykov, A. N. Yunda, I. V. Shelest, and V. V. Buranich, Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 42, No. 6: 815—827 (2020)
Abstract In this paper, the influence of energy factors, such as the bias potential, current density, deposition rate, on the formation of the structure and substructure of hafnium diboride films deposited using RF magnetron sputtering is analysed. As shown, the structural changes from a quasi-amorphous to a nanocrystalline state with a growth texture occur due to changes in energy factors.
В роботі проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина йонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок диборида гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазиаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів.
В работе проведен анализ влияния энергетических факторов, таких как потенциал смещения, подаваемый на подложку, плотность ионного тока на подложку и скорость осаждения, на формирование структуры и субструктуры плёнок диборида гафния, полученных ВЧ-магнетронным распылением. Показано, что структурные изменения от квазиаморфного состояния до нанокристаллического с текстурой роста происходят вследствие изменения энергетических факторов.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Belgium Belgium
1
Canada Canada
1
China China
6354435
Germany Germany
3656
India India
1
Ireland Ireland
13041
Lithuania Lithuania
1
Moldova Moldova
1
Netherlands Netherlands
53
Panama Panama
1
Serbia Serbia
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1583
Taiwan Taiwan
1
Ukraine Ukraine
12708761
United Kingdom United Kingdom
322213
United States United States
63139088
Unknown Country Unknown Country
1
Vietnam Vietnam
300

Downloads

Canada Canada
113
China China
1
France France
1
Germany Germany
3657
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Taiwan Taiwan
1
Ukraine Ukraine
1086542
United Arab Emirates United Arab Emirates
12708761
United Kingdom United Kingdom
322214
United States United States
43735035
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Goncharov_energy_factors_2020.pdf 876.29 kB Adobe PDF 57856328

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.