Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82848
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering |
Authors |
Honcharov, Maksym Mykolaiovych
Zykov, A.V. Yunda, Andrii Mykolaiovych Shelest, Ihor Vladyslavovych Buranych, Volodymyr Volodymyrovych |
ORCID | |
Keywords |
magnetron sputtering deposition conditions structure substructure hafnium diboride film магнетронне розпорошення параметри осадження структура субструктура плівка дибориду гафнію магнетронное распыление параметры осаждения структура субструктура плёнка диборида гафния |
Type | Article |
Date of Issue | 2020 |
URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/82848 |
Publisher | G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics of the N.A.S. of Ukraine |
License | Creative Commons Attribution - NonCommercial - NoDerivatives 4.0 International |
Citation | A. A. Goncharov, A. V. Zykov, A. N. Yunda, I. V. Shelest, and V. V. Buranich, Effect of Energy Factors on the Structure and Substructure Characteristics of Hafnium Diboride Films Deposited by RF Magnetron Sputtering, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 42, No. 6: 815—827 (2020) |
Abstract |
In this paper, the influence of energy factors, such as the bias potential, current density, deposition rate, on the formation of the structure and substructure of hafnium diboride films deposited using RF magnetron sputtering is
analysed. As shown, the structural changes from a quasi-amorphous to a nanocrystalline state with a growth texture occur due to changes in energy factors. В роботі проведено аналіз впливу енергетичних факторів, таких як потенціал зсуву, що подається на підкладку, густина йонного струму на підкладку і швидкість осадження, на формування структури та субструктури плівок диборида гафнію, отриманих ВЧ-магнетронним розпорошенням. Показано, що структурні зміни від квазиаморфного стану до нанокристалічного з текстурою зростання відбуваються внаслідок змін енергетичних факторів. В работе проведен анализ влияния энергетических факторов, таких как потенциал смещения, подаваемый на подложку, плотность ионного тока на подложку и скорость осаждения, на формирование структуры и субструктуры плёнок диборида гафния, полученных ВЧ-магнетронным распылением. Показано, что структурные изменения от квазиаморфного состояния до нанокристаллического с текстурой роста происходят вследствие изменения энергетических факторов. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views

1

1

6354435

3656

1

13041

1

1

53

1

1

1

1583

1

12708761

322213

63139088

82543141

300
Downloads

113

1

1

3657

1

1

1

1086542

12708761

322214

43735035

1
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Goncharov_energy_factors_2020.pdf | 876.29 kB | Adobe PDF | 57856328 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.