Пристрій для одержання плівкових високоентропійних сплавів

Проценко, Іван Юхимович; Однодворець, Лариса Валентинівна; Непийко, Сергій Олексійович; Шабельник, Юрій Михайлович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83769

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Пристрій для одержання плівкових високоентропійних сплавів
Authors	Protsenko, Ivan Yukhymovych Odnodvorets, Larysa Valentynivna Nepyiko, Serhii Oleksiiovych Shabelnyk, Yurii Mykhailovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-8112-1933 http://orcid.org/0000-0002-7516-5518
Keywords	плівкові високоентропійні сплави пленочные високоэнтропийные сплавы film high-entropy alloys вакуумна камера вакуумная камера vacuum chamber керамічний ізолятор керамический изолятор ceramic insulator
Type	Patent
Date of Issue	2020
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/83769
Publisher	Міністерство розвитку економіки, торгівлі та сільського господарства України
License	Copyright not evaluated
Citation	Пат. 144388 U Україна, МПК C23C 14/24 (2006.01). Пристрій для одержання плівкових високоентропійних сплавів / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець, С.О. Непийко, Ю.М. Шабельник (Україна); заявник та патентовласник Сумський держ. ун-т. - № u202002482; заявл. 21.04.2020; опубл. 25.09.2020, бюл. № 18.
Abstract	Пристрій для одержання плівкових високоентропійних сплавів складається з вакуумної камери, в якій встановлені випарники і на однаковій відстані від них розташована підкладка. В вакуумну камеру на керамічний ізолятор встановлена система суміщених екранів, яка являє собою два циліндри більшого і меншого діаметрів, що з'єднані між собою радіальними перегородками, які ділять внутрішній простір системи суміщених екранів на рівні сектори. В кожному з секторів на керамічному ізоляторі розміщений випарник, який підключений до двох електричних контактів, що з'єднані з елементом живлення. На внутрішній стороні зовнішньої стінки кожного з секторів прикріплений "свідок" для визначення товщини нанесеної плівки.
Appears in Collections:	Патенти