Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84522
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Особливості процесу іонної імплантації як базової інтегральної технології
Other Titles The ion implantation features as a basis integral technology
Authors Панченко, Д.М.
ORCID
Keywords Іонна імплантація
Ионная имплантация
Ion implantation
технологічний процес
технологический процесс
technological process
дефекти
дефекты
defects
комп’ютерне моделювання
компьютерное моделирование
computer modeling
Type Bachelous Paper
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84522
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Панченко Д.М. Особливості процесу іонної імплантації як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец. 171 – електроніка / Д.М. Панченко; наук. кер. І.П. Бурик – Суми: СумДУ, 2021. – 34 с.
Abstract Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес іонної імплантації та його застосування в технології виготовлення елементів електроніки. Мета роботи полягає у вивчені технології іонної імплантації та її застосування в електронному приладобудуванні, відпрацюванні алгоритмів комп’ютерного моделювання, аналізу експериментальних даних та симуляції процесів. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено поняття іонної імплантації, особливості процесу та дефекти, що утворюються. У другому розділі розглядається пакет програмного середовища Silvaco TCAD та особливості методики моделювання. У третьому розділі було проведено моделювання процесу іонної імплантації з урахуванням різних ступенів дефектності мішеней та зроблено аналіз отриманих результаті в рамках моделей Гауса, Пірсона та SDVP.
Appears in Collections: Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ)

Views

Australia Australia
1
China China
367
Germany Germany
1
Greece Greece
1020
Ireland Ireland
19334
Lithuania Lithuania
1
Netherlands Netherlands
7489
Poland Poland
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
-2099078903
United Kingdom United Kingdom
507983
United States United States
-2099078905
Unknown Country Unknown Country
97345688

Downloads

Finland Finland
19332
France France
1
Germany Germany
175177768
Indonesia Indonesia
1
Lithuania Lithuania
176752
Moldova Moldova
1
Norway Norway
1
Poland Poland
1220939
Romania Romania
1
Russia Russia
2978083
Ukraine Ukraine
-2099078906
United Kingdom United Kingdom
43392293
United States United States
-2099078904

Files

File Size Format Downloads
Panchenko_The_ion_implantation.pdf 1.77 MB Adobe PDF 319774658

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.