Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84560
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Особливості процесу травлення матеріалів як базової інтегральної технології
Other Titles Etching materials features as a basis integral technology
Authors Кайнара, В.В.
ORCID
Keywords Травлення матеріалів
Травление материалов
Etching of materials
плазмові технології
плазменные технологии
plasma technologies
інтегральна мікросхема
интегральная микросхема
integrated circuit
комп’ютерне моделювання
компьютерное моделирование
computer simulation
Type Bachelous Paper
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84560
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Кайнара В.В. Особливості процесу травлення матеріалів як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец. 171 – Електроніка /В.В. Кайнара; наук. кер. І.П. Бурик. – Суми: СумДУ, 2021. – 36 с.
Abstract Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес травлення матеріалів для виготовлення елементів мікросхем. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов травлення матеріалів на формування структури елементів мікро- та наноелектроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд сучасних методів плазмового травлення матеріалів. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу травлення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання ізотропного та анізотропного травлення кремнію, а також метод реактивного іонного травлення.
Appears in Collections: Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ)

Views

Australia Australia
1
Belgium Belgium
1
China China
1
Greece Greece
1
Ireland Ireland
454
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
7628
United Kingdom United Kingdom
2845
United States United States
57515
Unknown Country Unknown Country
1

Downloads

Canada Canada
1
Finland Finland
1
Germany Germany
1
Ireland Ireland
1
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
13779
United Kingdom United Kingdom
7627
United States United States
57516

Files

File Size Format Downloads
Kainara_Etching_materials.pdf 1.65 MB Adobe PDF 78928

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.