Особливості процесу пошарового нанесення матеріалів як базової інтегральної технології

Ткаченко, О.В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84577

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Особливості процесу пошарового нанесення матеріалів як базової інтегральної технології
Other Titles	Layer-by-layer deposition features as a basis integral technology
Authors	Ткаченко, О.В.
ORCID
Keywords	пошарове нанесення матеріалів послойное нанесение материалов layer-by-layer deposition of materials технологічний процес технологический процесс technological process елементи інтегральних мікросхем элементы интегральных микросхем elements of integrated circuits
Type	Bachelous Paper
Speciality	171 - Електроніка
Date of Issue	2021
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84577
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Ткаченко, О.В. Особливості процесу пошарового нанесення матеріалів як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 171 – електроніка / О.В. Ткаченко; наук. кер. І.П. Бурик. – Суми: СумДУ, 2021. – 32 с.
Abstract	Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес нанесення матеріалів для виготовлення елементів мікроелектроніки. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов нанесення матеріалів на формування структури елементів електроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд методів нанесення матеріалів, які використовуються для виготовлення елементів інтегральних мікросхем. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу пошарового нанесення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання селективного та неселективного нанесення кремнію, а також односпрямованого осадження плівок на поверхню структури.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ)