Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84578
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Особливості процесу окиснення як базової інтегральної технології
Other Titles Oxidation features as a basis integration technology
Authors Корольов, В.С.
ORCID
Keywords окиснення
окисление
oxidation
діоксин кремнію
диоксид кремния
silicon dioxide
інтегральна мікросхема
интегральная микросхема
integrated circuit
комп’ютерне моделювання
компьютерное моделирование
computer simulation
Type Bachelous Paper
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84578
Publisher Сумський державний університет
License Copyright not evaluated
Citation Корольов, В.С. Особливості процесу окиснення як базової інтегральної технології [Текст]: робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра; спец.: 171 – електроніка / В.С. Корольов; наук. кер. І.П. Бурик. – Суми: СумДУ, 2021. – 31 с.
Abstract Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес окиснення матеріалів для виготовлення елементів мікросхем. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов окиснення матеріалів на формування структури елементів мікро- та наноелектроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд сучасних методів окиснення кремнія. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу окиснення за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання впливу параметрів середовища на процес окиснення кремнію, а також поєднання стиків в локальному окисленні канавки (SILO).
Appears in Collections: Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (КІ)

Views

Australia Australia
1406491
China China
201
Germany Germany
28782
Greece Greece
540
Ireland Ireland
305406
Lithuania Lithuania
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
158040
United Kingdom United Kingdom
57567
United States United States
3363526
Unknown Country Unknown Country
1

Downloads

Austria Austria
1
Canada Canada
1
Czechia Czechia
1
Finland Finland
127
France France
305405
Germany Germany
158036
Ireland Ireland
1
Lithuania Lithuania
1
Poland Poland
2706
Romania Romania
2712
Ukraine Ukraine
1406490
United Kingdom United Kingdom
1406490
United States United States
3363524

Files

File Size Format Downloads
Korolov_bac_rob.pdf 1.15 MB Adobe PDF 6645495

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.