Датчики Холла як елементи контрольно-вимірювальних електронних систем

Abstract

Мета роботи полягала у вивченні фізичних процесів в чутливих елементах плівкових датчиків Холла та вимірюванні напруги і сталої Холла в одношарових металевих плівкових матеріалах. Вивчені питання стосовно фізичних принципів функціонування, конструкції та галузей застосування ефекту Холла. Показано, що на основi ефекту Холла функцiонують прилади для вимiрювання напруженостi магнiтного поля. Освоєна методика вимірювання ефекту Холла в плівкових матеріалах з використанням лабораторного стенду. Проведені вимірювання сталої Холла в одношарових металевих плівках Fe, Cr, Cu, і Al товщиною d  40 нм. Установлено, що її величина по модулю складала: (5,1; 3,8; 0,9; 0,7)..10-10 м3/К відповідно. Проведена розрахункова оцінка концентрації електронів у плівках різних металів однакової товщини. Отримано, що концентрація електронів змінюється від (1,2-1,6).1028 м-3 (Fe і Cr) до (7,0-8,9).1028 м-3 (Cu і Al), що підтверджується більш високою електронною провідністю Cu і Al у порівнянні з Fe і Cr.