Електропровідність композиційних плівкових функціональних матеріалів на основі Fe і SiO

Abstract

Мета роботи полягає у експериментальному дослідженні електропровідності шаруватих структур на основі Fe та SiО та встановленні взаємозв’язку структурно фазового стану та електрофізичних властивостей магніто-неоднорідних плівок. Для реалізації поставлених завдань використовувалися такі методи: почергова вакуумна конденсація компонент методом електронно-променевого випаровування; електронна мікроскопія та електронографія; методи теоретичного аналізу і узагальнення результатів. Показано, що для свіжо сконденсованих та відпалених при температурах 400, 500, 600, 700 К шаруватих структур [Fe/SiO]5із ефективними товщина ми dFe < 5 нм та dSiO = 5-6 нм реалізується тунельний режим провідності в температурному інтервалі 290–700 К. Приз більшенні ефективної товщини шарівFe до 5нм величина ТКО (залишаючись від’ємною) зменшується за абсолютною величиною, наближаючись до нуля. При ефективній товщині шарівFe понад 6 нм незалежно від товщини діелектричних шарів спостерігається лише характерний для металів хід кривої (Т) з додатним значенням ТКО. Після відпалювання за температури 800 К від’ємний знак ТКО зберігається лише для плівок з ефективною товщиною шарів Fe до 3 нм.