Моделювання динаміки формування та росту нанорозмірних поверхневих структур в системах «плазма–конденсат»

Abstract

Проведено теоретичні дослідження динаміки перерозподілу концентрації адсорбату у системах «плазма–конденсат» з урахуванням анізотропії в переходах адатомів між шарами, спричиненої дією підведеного до підкладинки зовнішнього електричного поля. Побудовано узагальнений теоретичний модель для опису процесів формування просторових відокремлених поверхневих структур на одному з шарів багатошарової системи. У рамках однорідної системи встановлено умови реалізації переходів плазмаконденсат першого роду. У припущенні, що сила анізотропії змінюється у часі періодичним і стохастичним чином, досліджено залежність часу переходу системи від стану з низькою густиною адсорбату до стану з високою густиною адсорбату від параметрів зовнішнього періодичного та стохастичного навантаження. У рамках аналізи на стійкість однорідних стаціонарних станів до неоднорідних збурень встановлено умови структурування зростаючої поверхні. У рамках процедури числового моделювання встановлено режими контролювання динамікою структурування поверхні, морфологією поверхні, типом і розміром поверхневих структур. Встановлено вплив тиску всередині камери, енергії взаємодії адсорбату, середнього значення напружености електричного поля на статистичні властивості наноструктурованих тонких плівок у системах «плазма–конденсат». Проведено узагальнення моделю з урахуванням флюктуацій поверхневого потоку адсорбату та виявлено вплив їхньої інтенсивности на морфологічні перетворення в структурі поверхні шару, тип і лінійний розмір поверхневих структур, їхню кількість і розподіл структур за розмірами. Вивчено вплив флюктуацій напружености підведеного до підкладинки електричного поля на динаміку упорядкування адсорбату на поверхні та статистичні властивості поверхневих структур при конденсації. Досліджено конкурувальний вплив регулярної та стохастичної частин зовнішнього потоку на динаміку системи. Проаналізовано здатність флюктуацій індукувати процеси формування поверхневих структур, керувати динамікою структуроутворення, просторовим порядком, морфологією поверхні, законом росту середнього розміру островів адсорбату, типом і лінійним розміром поверхневих структур. У рамках багатошарового моделю проаналізовано динаміку просторового перерозподілу адсорбату на кожному шарі багатошарової системи «плазма–конденсат».

Theoretical studies of the dynamics of the adsorbate-concentration redistribution in ‘plasma–condensate’ systems are provided. We take into account anisotropy in the transitions of adatoms between the neighbour layers caused by the action of the external electric field near the substrate. A generalized theoretical model for describing the formation processes of spatial separated surface structures on one of the layers of a multilayer system is derived. Within the framework of the homogeneous system, the conditions of realization of the first-order plasma–condensate transitions are established. Assuming that the anisotropy force changes in time periodically and stochastically, the dependence of the transition time of the system from the low adsorbate state to the high adsorbate state on the external periodic and stochastic loading parameters is investigated. By using the stability analysis of the homogeneous stationary states with respect to inhomogeneous perturbations, the conditions for structuring the growing surface are established. Within the framework of the numerical simulation procedure, the control regimes for the dynamics of surface structuring, surface morphology, type and size of surface structures are revealed. The influences of the pressure inside the chamber, the interaction energy of the adsorbate, the average value of the electric-field strength on the statistical properties of nanostructured thin films in plasma–condensate systems are established. The generalization of the model by considering fluctuations of the surface flow of the adsorbate is carried out, and the influence of their intensity on the morphological transformations in the structure of the layer surface, the type and linear size of surface structures, their number and distribution of structures by size is revealed. The influence of fluctuations of the electric field near the substrate on the dynamics of the adsorbate ordering over the surface and the statistical properties of surface structures during condensation is studied. The competitive influence of regular and stochastic parts of the external flow on the dynamics of the system is investigated. The ability of fluctuations to induce processes of surfacestructures’ formation, to control the dynamics of structure formation, spatial order, surface morphology, the law of growth of the average size of adsorbate islands, the type and linear size of surface structures is analysed. Within the multilayer model, the dynamics of spatial redistribution of the adsorbate on each layer of the multilayer ‘plasma–condensate’ system is analysed.