Чутливі елементи ємнісних сенсорів тиску: конструкція та фізичні принципи роботи

Abstract

Використання останнім часом мікроелектронних ємнісних сенсорів тиску є більш розповсюдженим, ніж мікроелектронні п’єзорезистивні та п’єзоелектричні датчики. Це є можливим за рахунок високої чутливості датчиків, низького енергоспоживання, майже відсутності температурних впливів на роботу сенсора та сумісності інтегральних систем. Ємнісні датчики тиску застосовуються у багатьох галузях промисловості, тому розвиток тонкоплівкової технології виготовлення таких датчиків є пріоритетним на сьогодні. У роботі представлені сучасні типи датчиків тиску, їх фізичні принципи роботи, переваги та недоліки. Окремо розглянута перспектива використання тонкоплівкового ємнісного сенсора тиску та способах підвищення характеристик і зменшення розмірів чутливих елементів даного сенсору. Детально розглянуто конструкцію та технологію виготовлення високотемпературного ємнісного датчика тиску на основі монокристалу 3С-SIC.