Microdefects and Electrical Properties of β-Ga2O3 and β-Ga2O3:Mg Crystals Grown by Floating Zone Technique

Abstract

Досліджено мікродефекти в монокристалах β-Ga2O3 і β-Ga2O3:0.1 % Mg, вирощених методом оптичної зонної плавки з радіаційним нагріванням. На поверхні (100) та в об'ємі нелегованих кристалів β-Ga2O3 виявлено пористі дефекти трубоподібної форми. Такі дефекти мають діаметр до 1 мкм і довжину до 100 мкм, витягнуті по осі [010]. Легування оксиду галію іонами магнію приводить до зменшення концентрації дефектів та зміни їхньої форми. Розраховано концентрацію та рухливість носіїв електричного заряду в нелегованих у β-Ga2O3 кристалах. Оцінено енергії активації провідності досліджуваних кристалів. Виявлено та обговорено певні кореляції між умовами вирощування кристалів, легуванням і швидкістю випаровування Ga2O з розплаву та густиною дефектів, що надає аспекти подальшого розвитку матеріалу. Також проаналізовано механізми утворення цих дефектів.

Microdefects in β-Ga2O3 and β-Ga2O3:0.1 % Mg single crystals grown by the method of floating zone technique with radiation heating have been studied. Porous defects with a tube-like shape were found on the (100) surface and in the bulk of undoped β-Ga2O3 crystals. Such defects are up to 1 µm in diameter and up to 100 µm in length, elongated along the [010] axis. Doping of gallium oxide with magnesium ions leads to a decrease in the concentration of defects and changes in their shape. The concentration and mobility of electrical charge carriers in undoped β-Ga2O3 crystals were calculated. The activation energies of the conductivity of the studied crystals were estimated. Some correlations between crystal growing conditions, doping, and the rate of Ga2O evaporation from the melt and defect density were revealed and discussed, providing aspects for further material development. The mechanisms of these defects formation have been also analyzed.