Performance Analysis of Incorporating a Buried Metal Layer in a Junction-Less Multi-Channel Field Effect Transistor

Abstract

Дана робота зосереджена на результатах, отриманих завдяки введенню металевого шару (BML) у багатоканальний польовий транзистор (JL MCFET) без переходів. Два складені канали, розділені міжоксидним шаром, один із яких має структуру Trigate, а інший має структуру подвійного затвора, були реалізовані за допомогою BML, і він був сформований як багатоканальний польовий ефект заглибленого металевого шару без спаїв. ідеальний транзистор (JL BML-MCFET). Перехід Шотткі створюється в нижній частині шару пристрою шляхом додавання прихованого металевого шару з достатньою робочою функцією. Описано роботу таких параметрів пристрою, як електричний потенціал і I-V характеристики. Технологія Sentaurus Computer Aided Design (TCAD) була використана для оцінки цього пристрою. Для обчислення тунелювання та рекомбінаціъ, TCAD моделює модель мобільності Ломбарді, моделі Шоклі-Ріда-Холла (SRH) і моделі оже-рекомбінації. Цей пристрій генерує в чотири рази більший вихідний струм, використовуючи захований металевий шар. Паразитарний витік зменшено, а співвідношення ION/IOFF стабілізовано. Незважаючи на те, що напруга на затворі була підвищена до більш високих рівнів, підпорогове значення коливання зберігається на ідеальному значенні приблизно 60 мВ/дек. Крім того, покращується масштабованість, а високе вертикальне поле переходу Шотткі знижує зв’язок між силовими лініями витоку та стоку.

This work focuses on the outcomes brought about by the incorporation of Buried Metal Layer (BML) in a Junction-less Multi-Channel Field Effect Transistor (JL MCFET). Two stacked channels separated by an inter-oxide layer, one having a Trigate structure and other having a Double gate structure, have been implemented with a BML and it has been formed as Junction-less Buried Metal Layer Multi-Channel Field Effect Transistor (JL BML-MCFET). A Schottky junction is created at the bottom of the device layer by adding a buried metal layer with sufficient work function. The performance of device parameters like the electric potential and IV characteristics have been described. Sentaurus Technology Computer Aided Design (TCAD) was used to evaluate this device. To calculate tunneling and recombination, the TCAD simulates the Lombardi mobility model, Shockley-Read-Hall (SRH), and Auger recombination models. This device generates four times more output current by employing buried metal layer. The parasitic leakage has been reduced and the ION/IOFF ratio has been stabilized. Even though the gate voltage has been raised to greater levels, the subthreshold swing (SS) value has been kept at an Ideal value of about 60 mV/dec. Also, the scalability is enhanced, and the Schottky junction's high vertical field lowers the lateral coupling between the source and drain field lines.