Моделювання структур чутливих елементів наноелектронних сенсорів

Abstract

Використaння тонких плiвок у технiцi стaло можливим пiсля освоєння методiв їх одержaння з попередньо зaдaними фiзичними влaстивостями. Це вiдкрило можливiсть їх широкого зaстосувaння в сенсориці, як елементiв мiкроелектронних схем, тензодaтчикiв, датчиків магнітного поля тощо. Ці фактори і визначають актуальність даної роботи, а самі дослідження фізичних властивостей тонкоплівкових структур як чутливих елементів датчиків та сенсорів є важливими та своєчасними. Метою даної роботи є вивчення та аналіз функціональних та конструктивних особливостей тонкоплівкових сенсорів, а також елементів гнучкої електроніки спін-клапанного типу; розрахунок основних параметрів таких пристроїв. У результаті виконання кваліфікаційної роботи проведено аналітичний огляд стосовно конструкційних особливостей та фізичних принципів функціонування тонкоплівкових сенсорів, розглянуті типи матеріалів для їх створення.