Методи одержання наноструктурованих плівок напівпровідників

Abstract

Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є сучасні способи отримання напівпровідникових плівок у нанорозмірному діапазоні. Мета роботи полягає в аналізі обраних методик отримання та дослідженні морфологічних, структурних та субструктурних параметрів синтезованих плівок CdSe та CZTS. При виконанні роботи використовувалися методи систематизації, синтезу, узагальнення, закріплення попередньо набутих теоретичних знань, математичного аналізу, аналізу літературних джерел та електронний мікроскоп, рентгенівська дифрактометрія, вакуумна установка, вимірювальні прилади, графічні редактори та пакет програм для числового аналізу даних й наукової графіки OriginLab. У результаті проведених досліджень було визначено, що серед лінійки доступних методик отримання напівпровідникових нано покриттів перспективні місця займають молекулярно-променева епітаксія, вакуумне випаровування, спрей-піроліз та атомно-шарове осадження. Також встановлено, що на властивості таких плівок впливає цілий ряд параметрів, проте найбільший внесок був помічений саме при зміні температурного режиму підкладки.