Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD

Мойсеєнко, А.І.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92379

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD
Authors	Мойсеєнко, А.І.
ORCID
Keywords	покриття coatings методи осадження deposition methods аналіз analysis
Type	Bachelous Paper
Date of Issue	2023
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92379
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Мойсеєнко А. І. Дослідження морфології та елементного складу NbCuSi та (NbCuSi)N покриттів отриманих методом PVD : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. Я. О. Кравченко. Суми : Сумський державний університет, 2023. 41 с.
Abstract	У першому розділі розглянуто види функціональних покриттів та їх структурні особливості, а саме потрійні нітридні та багатокомпонентні покриття. Також методи фізичного осадження з парогазової фази та осадження покриттів на основі нітриду металів. У другому розділі описано методи осадження і дослідження багатоелементних покриттів. Третій розділ присвячено дослідженню морфології та елементного складу інтерметалідних та нітридних покриттів серій NbCuSi та (NbCuSi)N.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)