Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2

Полтавцев, В.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92489

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2
Authors	Полтавцев, В.О.
ORCID
Keywords	плівка film осадження deposition структура structure
Type	Bachelous Paper
Speciality	153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Issue	2023
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92489
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Полтавцев В. О. Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок(TiZrNbHfTa)B2 : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. О. Д. Погребняк. Суми : Сумський державний університет, 2023. 57 с.
Abstract	В бакалаврській роботі було проведено дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa) B2 та їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму. Плівки були охарактеризовані за допомогою XRD, XPS, AFM, рамановської спектроскопії, індентування та трибологічних тестів. Виявлено нанокристалічну структуру однофазних твердих розчинів диборидів, що входять до складу плівок.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)