Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa)B2. Їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки

Клименко, Д.О.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92530

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa)B2. Їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки
Authors	Клименко, Д.О.
ORCID
Keywords	плівка film постійний струм direct current товщина thickness плазмова апаратура plasma equipment
Type	Bachelous Paper
Speciality	153 - Мікро- та наносистемна техніка
Date of Issue	2023
URI	https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/92530
Publisher	Сумський державний університет
License	Copyright not evaluated
Citation	Клименко Д. О. Дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa)B2. Їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки : робота на здобуття кваліфікаційного ступеня бакалавра : спец. 153 - мікро- та наносистемна техніка / наук. кер. О. Д. Погребняк. Суми : Сумський державний університет, 2023. 54 с.
Abstract	В бакалаврській роботі було проведено дослідження структури, механічних і термодинамічних властивостей плівок (TiZrNbHfTa) B2 та їх осадження методом магнетронного розпилення постійного струму під дією ефекту зміщення підкладки. Детальніший аналіз структури (TiZrNbHfTa)B2 може включати визначення розташування атомів у кристалічній ґратці, вивчення міжатомних взаємодій, аналіз наявності домішок та дефектів у структурі, а також вимірювання параметрів кристалічної ґратки, таких як період решітки та коефіцієнт сітчастості.
Appears in Collections:	Кваліфікаційні роботи здобувачів вищої освіти (ЕлІТ)