Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов |
Authors |
Возный, В.И.
|
ORCID | |
Keywords |
іонний пучок плазма густина струму ионный пучок плазма плотность тока ion beam plasma current density |
Type | Article |
Date of Issue | 2010 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 |
Publisher | Изд-во СумГУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Возный, В.И. Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов [Текст] / В.И. Возный // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т. 2, № 2. — С.25-34. |
Abstract |
Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views

1

1

1

3

1

322

1

1

216881

1

1

1

3

24

1

1

3

11887221

5240949

268334695

297567333
Downloads

7

323

1

1

6

1

34473595

1

268334686

302
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Voznyi.pdf | 234.54 kB | Adobe PDF | 302808923 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.