Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов |
Authors |
Еремин, С.А.
Baturin, Volodymyr Andriiovych |
ORCID | |
Keywords |
пучок ионов пучок іонів ion beam распыление розпорошення spraying вторичные нейтралы вторинні нейтрали secondary neutral кластер cluster масс-спектрометр mass-spectrometer |
Type | Article |
Date of Issue | 2009 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289 |
Publisher | Видавництво СумДУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Батурин, В.А. Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Журнал нано- та електронної фізики. — 2009. — Т.1, №1. — С.80-103. |
Abstract |
Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см2. Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views

1

1

1

4

2

16358130

468

1

1

1

106038

1

1

3

26

2

52984985

715745

247844942

319554503
Downloads

1

4

1

316

1

1

4

1544151

1

247844941

138
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
jnep_2009_V1_N1_80-103.pdf | 394.47 kB | Adobe PDF | 249389559 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.