Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов

Еремин, С.А.; Батурин, Владимир Андреевич

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов
Authors	Еремин, С.А. Baturin, Volodymyr Andriiovych
ORCID
Keywords	пучок ионов пучок іонів ion beam распыление розпорошення spraying вторичные нейтралы вторинні нейтрали secondary neutral кластер cluster масс-спектрометр mass-spectrometer
Type	Article
Date of Issue	2009
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
Publisher	Видавництво СумДУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Батурин, В.А. Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов [Текст] / В.А. Батурин, С.А. Еремин // Журнал нано- та електронної фізики. — 2009. — Т.1, №1. — С.80-103.
Abstract	Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см2. Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9289
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)