Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/94922
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Critical Values Determination of Parameters of Fixed Electron Flows System in the Processing of Oxide Coatings on Extended Optical Elements
Other Titles Визначення критичних значень параметрів системи нерухомих електронних потоків при обробці оксидних покриттів на протяжних оптичних елементах
Authors Yatsenko, I.V.
Antonyuk, V.S.
Maslov, V.P.
Vashchenko, V.А.
Gordienko, V.I.
ORCID
Keywords оптико-електронне приладобудування
оптичні елементи
нанорозмірні покриття з оксидів металів
електронно-променева обробка
теплові процеси
оптимальне керування
optoelectronic instrumentation
optical elements
nanoscale coatings of metal oxides
electron beam processing
thermal processes
optimal control
Type Article
Date of Issue 2024
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/94922
Publisher Sumy State University
License Creative Commons Attribution 4.0 International License
Citation I.V. Yatsenko et al., J. Nano- Electron. Phys. 16 No 1, 01005 (2024) https://doi.org/10.21272/jnep.16(1).01005
Abstract Розроблено математичну модель зовнішнього рівномірно розподіленого теплового впливу на поверхню плоского двошарового елемента з оптичного скала К108 та оксидного покриття з Al2O3, MgO, що враховує температурні залежності їх теплофізичних властивостей (об’ємної теплоємності та коефіцієнта теплопровідності). Визначено критичні значення параметрів зовнішніх теплових впливів (теплових потоків та часів їх дії), які призводять до руйнування покриттів (поява тріщин, відколів, відшарувань та ін.). Вирішено задачу реалізації рівномірно розподіленого теплового впливу вздовж поверхні оксидного покриття за допомогою системи нерухомих стрічкових електронних потоків (СЕП), що входять у вигляді програмно керованого модуля у оснастку сучасного електронно-променевого обладнання. Визначено допустимі режими обробки поверхонь покриттів (кількість СЕП, керовані параметри кожного СЕП (струм, прискорююча напруга та відстань до оброблюваної поверхні)), що дозволяють покращувати їх експлуатаційні характеристики та попереджати можливі руйнування у екстремальних умовах експлуатації приладів (підвищені температури нагріву, термоударні впливи та ін.). Електронно-променева обробка протяжних елементів з оптичного скла та керамік, елементів з п’єзокерамік, а також оптичних елементів з покриттями з оксидів металів визначається як потенційно спроможна для якісної обробки їх поверхонь за допомогою системи нерухомих СЕП, які можуть бути використані як елементна база у мікрооптиці, інтегральній та волоконній оптиці, функціональній електроніці та інших галузях точного приладобудування.
A mathematical model has been developed for the external uniformly distributed thermal effect on the surface of a flat bilayer element made of optical glass K108 and oxide coating with Al2O3, MgO, taking into account the temperature dependencies of their thermophysical properties (volumetric heat capacity and thermal conductivity). Critical values of external thermal impact parameters (heat flows and durations of their action) leading to the destruction of coatings (crack formation, detachment, delamination, etc.) have been determined. The problem of implementing a uniformly distributed thermal effect along the surface of the oxide coating using a system of fixed ribbon electron flows (REF) has been solved. These REFs are incorporated as a programmatically controlled module into the equipment of modern electron-beam devices. Permissible processing regimes for coating surfaces have been defined (the number of REFs, controlled parameters for each REF such as current, accelerating voltage, and distance to the processed surface). These regimes allow to improve their operational characteristics and prevent potential damage under extreme operating conditions of devices (elevated heating temperatures, thermal shock effects, etc.). Electron-beam processing of extended elements made of optical glass and ceramics, piezoceramic elements, as well as optical elements with coatings of metal oxides, is considered potentially capable of qualitatively processing their surfaces using a system of fixed REF. These REF can serve as the elemental basis in microoptics, integrated and fiber optics, functional electronics, and other fields of precision instrument engineering.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Australia Australia
1
China China
109
Japan Japan
1
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
4
United States United States
146
Unknown Country Unknown Country
264

Downloads

Belgium Belgium
1
China China
111
France France
12
Germany Germany
1
Japan Japan
1
South Korea South Korea
1
Ukraine Ukraine
1
United States United States
147
Unknown Country Unknown Country
1

Files

File Size Format Downloads
Yatsenko_jnep_1_2024.pdf 691.88 kB Adobe PDF 276

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.