Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов |
Authors |
Возный, В.И.
|
ORCID | |
Keywords | |
Type | Article |
Date of Issue | 2008 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 |
Publisher | Изд-во СумГУ |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Возный, В.И. Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов [Текст] / В.И. Возный // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 136-143. |
Abstract |
Представлены результаты измерения аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов, работающего на частоте 27,12 МГц. Измерены функции распределения ионов по энергии гелиевого и аргонового пучков при изменении высокочастотной мощности в пределах 50-300 Вт с помощью сеточного энергоанализатора методом задерживающего потенциала. Определены средняя энергия и энергетический разброс ионов гелия и аргона. Установлено, что минимальный энергетический разброс ионов гелия равен 7±1 эВ при 150 Вт ВЧ мощности
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 The results of axial energy spread measurements of a 27.12 MHz radio-frequency multicusp ion source are presented. Ion energy distribution functions of extracted helium and argon ion beams have been measured by use of retarding field energy analyzer for 50-300 W of radio-frequency power. Average energy and energy spread of helium and argon ions have been determined. It was found that minimal ion energy spread of helium beam is equal to 7±1 eV at 150 W of radio-frequency power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views

2

4

1

318

1

3

1

67233

1

1

1

1

33

9255288

3

425794

217702

18507367

28899549

1
Downloads

3216

3

319

3

1

7

1274566

1

18507368

124
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Voznyi1.pdf | 380.92 kB | Adobe PDF | 19785608 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.