Применение сфокусированных пучков заряженных частиц низких и средних энергий в нанотехнологиях

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9596

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Применение сфокусированных пучков заряженных частиц низких и средних энергий в нанотехнологиях
Authors	Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych
ORCID
Keywords	нанотехнологии нанотехнології
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9596
Publisher	Изд-во СумГУ
License	Copyright not evaluated
Citation	Пономарев, А.Г. Применение сфокусированных пучков заряженных частиц низких и средних энергий в нанотехнологиях [Текст] / А.Г. Пономарев // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №2. — С. 46-59.
Abstract
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)