Структура та сенсорні властивості нанокристалічних плівок вольфраму

Abstract

Обгрунтування актуальності: нанокристалічні матеріали, завдяки своїм унікальним властивостям, привертають значну увагу науковців та інженерів електронної техніки. Особливе місце серед них займають нанокристалічні плівкові матеріали на основі вольфраму, які відомі своєю високою твердістю, термічною та хімічною стійкістю, їх сенсорні властивості до цього часу залишаються предметом активного дослідження. Об’єктом дослідження даної роботи є структурно-фазовий склад, електрофізичні властивості та магнітні характеристики плівкових матеріалів на основі вольфраму. Мета роботи полягає у вивчені особливостей структури, електрофізичних властивостей та магнітних характеристик нанокристалічних плівкових матеріалів на основі вольфраму, їх застосування у сучасній електроніці. Кваліфікаційна робота бакалавра складається із вступу, основної частини (три розділи), висновків. В першому розділі дається стислий аналіз фізичних властивостей та особливостей застосування плівкових матеріалів на основі вольфраму. В другому розділі наведено огляд методів отримання та дослідження таких матеріалів. В третьому розділі розглянуто структурно-фазовий склад та електрофізичні властивості та магнітні характеристики нанокристалічних плівок вольфраму та їх оксидів.