Моделювання процесів зародкоутворення та формування наноструктурних плівок на основі нітридів перехідних металів

Abstract

У цій роботі досліджено процеси зростання тонких плівок шляхом огляду та порівняння різних математичних моделей, таких як рівняння швидкості Каріотіса і Лагаллі та метод Монте-Карло. Кожен підхід дозволяє оцінити певні аспекти кінетики росту та атомних взаємодій, що робить їх корисними для моделювання складних процесів на атомарному рівні. В рамках дослідження було детально проаналізовано ці методи з метою оптимізації точності розрахунків та покращення прогнозованості властивостей матеріалу.