Вплив товщини конденсатів Ni, Cu та Mо на структурні характеристики

Білоус, Олена Анатоліївна; Токмань, Валерій Васильович; Чорноус, Анатолій Миколайович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/983

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Вплив товщини конденсатів Ni, Cu та Mо на структурні характеристики
Authors	Bilous, Olena Anatoliivna Tokman, Valerii Vasylovych Chornous, Anatolii Mykolaiovych
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-2288-4030 http://orcid.org/0000-0002-5009-5445
Keywords	конденсати структурні характеристики конденсаты структурные характеристики condensates structural characteristics
Type	Article
Date of Issue	2001
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/983
Publisher
License
Citation	Білоус, О.А. Вплив товщини конденсатів Ni, Cu та Mо на структурні характеристики [Текст] / О.А. Білоус, В.В. Токмань, А.М. Чорноус // Тонкие пленки в электронике : сборник докладов 12-го Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике», 23-27 апреля, 2001 / Под ред. : А.Ф. Белянина, В.И. Лапшина, В.М. Шулаева. - Харьков, 2001. - С. 177-181.
Abstract	Методом просвічуючої електронної мікроскопії та електронографії вивчені структура та фазовий склад конденсатів нікелю, міді і молібдену. Встановлено, що для ГЦК-конденсатів Сu і Nі середній розмір зерна залежить від товщини на відміну від плівкових зразків ОЦК-Мо. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/983
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)