Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Abstract

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в корпусі анода встановлено два патрубки для подачі та відводу води водоохолоджувальної системи. Катод має корпус циліндричної форми з оберненим до анода отвором. Всередині корпуса катода коаксіально фокусуючому магнітопроводу анода розміщений розпилюваний стержень, або співвісно один одному розпилюваний стержень і одна або декілька трубок, вільні торці яких розташовані в центральній частині катода поблизу фокусуючого магнітопроводу. До торця кожної магнітної системи приєднаний другий фокусуючий магнітопровід. Пристрій містить щонайменше два аналогічних першим аноди та два розпилюваних катоди, які розміщені коаксіально і електрично з’єднані між собою. В одному корпусі анода розташовано два фокусуючі магнітопроводи. Сусідні два катоди розташовані на спільній основі катода, і усі аноди мають спільну систему подачі теплоносія для водоохолоджувальної системи. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9844

Устройство для нанесения покрытий в вакууме содержит распределительный катод, соосно которому размещен анод, состоящий из герметического корпуса в виде пустотелого цилиндра, нижняя часть которого выполнена в виде срезанного конуса с расположенной в нем односекционной водоохлаждаемой магнитной системой из постоянного магнита, к торцу цилиндрического постоянного магнита присоединенный, в виде срезанного конуса, фокусный магнитопровод, и в корпусе анода установлено два патрубка для подачи и отвода воды водоохлаждаемой системы. Катод включает корпус цилиндрической формы с повернутым к аноду отверстием. Внутри корпуса катода коаксиально фокусному магнитопроводу анода размещен распылительный стержень, или соосно один другому распылительный стержень и одна или несколько трубок, свободные концы которых расположены в центральной части катода возле фокусного магнитопровода. К торцу каждой магнитной системы присоединенный другой фокусный магнитопровод. Устройство содержит минимум два аналогичных первым аноды и два распылительные катоды, которые размещены коаксиально и электрически соединены между собой. В одном корпусе анода расположено два фокусных магнитопровода. Соседние два катода расположены на совместной основе катода, и все аноды имеют совместную систему подачи теплоносителя для водоохлаждаемой системы. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9844

A device for application of coatings in vacuum comprises distributive cathode, anode which coaxial cathode is placed, consisting of sealed case as hollow cylinder, the bottom part of which is made as cut cone with one-section water-cooled magnetic system located in it from constant magnet, to end face cylindrical constant magnet connected focal core piece as cut cone, and in the case of anode installed two branch tubes for supply and tapping of water of water-cooled system. The cathode comprises a case of cylindrical form with aperture turned to the anode. Inside of cathode case is placed pulverizing core coaxially to focal core piece of anode, or coaxially one another pulverizing core and one or several pipes, which free ends are located in central part of the cathode near focal core piece. To end face of each magnetic system connected another focal core piece. The device comprises at least two anodes similar to the first anodes and two pulverizing cathodes, which are place coaxially and electric are connected among themselves. In one case of anode is located two focal core piece. Two adjacent cathode are located on joint basis of cathode and all anodes have joint system of supply of heat-carrier for water-cooled system. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9844