Please use this identifier to cite or link to this item:
https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/98868
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Пристрій для багатоточкового вимірювання опору плівок |
Authors |
Shkyria, Yurii Olehovych
Аношенко, А.С. |
ORCID | |
Keywords |
плівки електричний опір плівок вимірювання опору films electrical resistance of films resistance measurement |
Type | Conference Papers |
Date of Issue | 2025 |
URI | https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/98868 |
Publisher | Сумський державний університет |
License | Copyright not evaluated |
Citation | Шкиря Ю. О., Аношенко А. С. Пристрій для багатоточкового вимірювання опору плівок / наук. кер. А. С. Опанасюк // Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма Міжнародної наукової конференції молодих вчених, Суми, 21–25 квітня 2025 року / відп. за вип. Ю. Ю. Волк. Суми : Сумський державний університет, 2025. С. 129-132. |
Abstract |
Плівки являють собою шари матеріалу з товщиною від кількох
нанометрів до мікронів, які наносяться на підкладку. Різноманітні
фізичні та хімічні властивості роблять їх придатними для застосування
у багатьох технологічних процесах. Електричний опір плівок є
параметром, що відображає їхню здатність проводити електричний
струм в залежності від структури, товщини та зовнішніх впливів. Точне
вимірювання опору дозволяє оцінити якість плівок, встановити
характеристики власних і домішкових дефектів, дослідити вплив
технологічних параметрів на її властивості та розробляти нові
функціональні матеріали. Традиційні методи вимірювання опору, такі
як дво- та чотириконтактні зондові методи, часто є трудомісткими та
можуть не забезпечувати достатньої кількості точок вимірювання для
детального аналізу. Тому розробка автоматизованого пристрою для
вимірювання опору плівок є актуальною науково-технічною задачею. |
Appears in Collections: |
Наукові видання (ЕлІТ) |
Views
Downloads
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Shkyria_opir_plivok.pdf | 2.06 MB | Adobe PDF | 0 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.