Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях

Карпуша, Василий Данилович; Швец, Ульяна Станиславовна

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях
Authors	Karpusha, Vasyl Danylovych Shvets, Uliana Stanislavivna
ORCID	http://orcid.org/0009-0004-2460-2273 http://orcid.org/0000-0002-1518-4047
Keywords	решение обратной задачи метод спектральной єллипсометрии роз`язання оберненої задачі метод спектральної еліпсометрії
Type	Article
Date of Issue	2004
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997
Publisher	Издательство СумГУ
License
Citation	Карпуша, В.Д. Особенности решения обратной задачи в спектроэллипсометрических исследованиях [Текст] / В.Д. Карпуша, У.С. Швец // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2004. - №10(69). - С. 28-35.
Abstract	In the present paper the possibility of application of spectral ellipsometry method for determination of parameters of near-surface layers amorphous metallic alloys is analysed. The selection criterion of incorrect solutions of inverse ellipsometry task is suggested which is based on the evaluation of the maximal caused by an error of the method deviation determined parameters. When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/997
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)