Показаны результаты 1 - 2 из 2
| Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | Mechanism of Oxygen Redistribution During Ultra-shallow Junction Formation in Silicon | Oberemok, O.S.; Gamov, D.V.; Litovchenko, V.G.; Romanyuk, B.M.; Melnik, V.P.; Klad’ko, V.P.; Popov, V.G.; Gudymenko, O.Yo. | Conference Papers | 10744303 | 7387150 |
| 2012 | Oxygen Behavior Around Heavily Doped Ultra-Shallow Junction in Si | Oberemok, O.S.; Gudymenko, O.Yo.; Lytovchenko, V.G.; Melnyuk, V.P. | Conference Papers | 31743823 | 48767377 |