Показаны результаты 1 - 3 из 3
| Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. | Conference Papers | 183448509 | 251148292 |
| 2014 | Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. | Article | 1049172964 | -2058990913 |
| 2015 | Hard Si-C-N Chemical Vapor Deposited Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I.; Dub, S.M.; Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych | Conference Papers | 433575737 | 257092591 |