Показаны результаты 1 - 4 из 4
| Год выпуска | Название | Автор(ы) | Тип | Просмотров | Загружено |
|---|---|---|---|---|---|
| 2013 | Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. | Conference Papers | 242270701 | 251148292 |
| 2014 | Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films | Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. | Article | 1836567142 | -360684658 |
| 2015 | Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок | Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Малахов, В.Я.; Томіла, Т.В. | Article | 48971633 | 64210543 |
| 2014 | Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок | Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Томіла, Т.В. | Article | 6378691 | 5304635 |