Формирование высокопористых слоев АІ при помощи самоорганизованных ионных распылителей

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15273

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Формирование высокопористых слоев АІ при помощи самоорганизованных ионных распылителей
Authors	Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Korniushchenko, Hanna Serhiivna
Keywords
Type	Conference Papers
Date of Issue	2007
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15273
Publisher	Издательство СумГУ
License
Citation	Перекрестов, В.И. Формирование высокопористых слоев АІ при помощи самоорганизованных ионных распылителей [Текст] / В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко, Ю.А. Косминская // Тези доповідей науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспіратнів та студентів фізико-технічного факультету : 19-26 квітня. - Суми : СумДУ, 2007. - С. 84.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)