Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3881

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Authors	Protsenko, Ivan Yukhymovych Odnodvorets, Larysa Valentynivna
ORCID	http://orcid.org/0000-0003-3351-9303 http://orcid.org/0000-0002-8112-1933
Keywords	мікроелектроніка плівкові матеріали микроэлектроника плёночные материалы
Type	Schoolbook
Date of Issue	2011
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3881
Publisher	Вид-во СумДУ
License
Citation	Проценко, І.Ю. Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми) [Текст] : навч. посіб. / І.Ю. Проценко, Л.В. Однодворець. - Суми : СумДУ, 2011. - 231 с.
Abstract
Appears in Collections:	Навчальні та наукові видання видавництва СумДУ