Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
Authors Sokolov, Serhii Viktorovych
Марченко, Т.В.
Keywords метод ионной имплантации
метод іонної імплантації
ion implantation
Type Conference Papers
Date of Issue 2010
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228
Publisher Видавництво СумДУ
License
Citation Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.
Abstract
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Belarus Belarus
1
Canada Canada
1
China China
1
France France
2
Germany Germany
130
Kazakhstan Kazakhstan
1
Netherlands Netherlands
5
Russia Russia
14
Spain Spain
1
Turkey Turkey
1
Ukraine Ukraine
1140
United Kingdom United Kingdom
2
United States United States
11
Unknown Country Unknown Country
50

Downloads

China China
2
France France
2
Germany Germany
131
Ukraine Ukraine
917
Unknown Country Unknown Country
76

Files

File Size Format Downloads
ElIT_2010.pdf 8,31 MB Adobe PDF 1128

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.