Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине
Authors	Sokolov, Serhii Viktorovych Марченко, Т.В.
Keywords	метод ионной имплантации метод іонної імплантації ion implantation
Type	Conference Papers
Date of Issue	2010
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4228
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Соколов, С.В. Моделирование распределения имплантированных ионов по глубине [Текст] / С.В. Соколов, Т.В. Макаренко // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів факультету електроніки та інформаційних технологій : Суми, 19-23 квітня 2010 року / Відп. за вип. С.І. Проценко. — Суми : СумДУ, 2010. — С. 166.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)