Магнетронні розпилювальні системи

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Магнетронні розпилювальні системи
Authors	Мулін, Д.В.
ORCID
Keywords	магнетронне напилення нанесення плівок магнетронное напыление нанесение пленок magnetron sputtering pellicle deposition
Type	Conference Papers
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/4346
Publisher	Видавництво СумДУ
License
Citation	Мулін, Д.В. Магнетронні розпилювальні системи [Текст] / Д.В. Мулін // Матеріали та програма науково-технічної конференції викладачів, співробітників, аспірантів і студентів фізико-технічного факультету : присвяченої Дню науки в Україні та 60-річчю СумДУ, 21-24 квітня. — Суми : СумДУ, 2008. — Т.1. — С. 115.
Abstract
Appears in Collections:	Наукові видання (ЕлІТ)