Фізичні засади плазмових технологій для комплексної обробки багатокомпонентних матеріалів та покриттів

Abstract

Метою роботи є встановлення взаємозв'язку між елементним, фазовим і напружено-деформованим станом і механічними та трибологічними властивостями наноструктурних покриттів з подальшим термічним відпалом, а також розробка фізико-технологічних основ для отримання твердих нанокомпозитних покриттів. Звіт починається зі вступу, де наводиться загальна характеристика робіт по темі. У першому розділі докладно розглянуто методи дослідження та отримання нітридних покриттів. Другий розділ містить в собі результати комплексного дослідження багатокомпонентних і багатошарових нітридних покриттів на основі Ti, Hf, Zr, Nb, V, Si, Al, Y, Ta, B, Mo елементів.