Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44882
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Cтруктурная инженерия вакуумно-дуговых многослойных покрытий ZrN/CrN
Other Titles Структурна інженерія вакуумно-дугових багатошарових покриттів ZrN/CrN
Authors Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф
Мейлехов, А.А.
Постельник, А.А.
Столбовой, В.А.
Keywords Многослойное покрытие
Толщина слоя
Имплантация
Перемешивание
Структура
Микродеформация
Твердость
Багатошарові покриття
ZrN/CrN
Товщина шару
Імплантація
Перемішування
Структура
Мікродеформація
Твердість
Multilayer coating
Layer thickness
Implantation
Mixing
Structure
Microstrain
Hardness
Type Article
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/44882
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation О.В. Соболь, А.О. Андрєєв и др., Ж. нано- электрон. физ. 8 № 1, 01042 (2016)
Abstract Для багатошарової системи ZrN/CrN з великим розходженням за атомними масами і радіаційно-стимульованого дефектоутворенням металевих складових, проаналізовано вплив товщини шарів (в нанометровому діапазоні) і негативного потенціалу зсуву, що подається при осадженні (– Us) на структуру і твердість композиційних вакуумно-дугових покриттів. Встановлено, що при товщині шарів менше 50 нм подача – Us призводить до зростання мікродеформації в шарах CrN при бомбардуванні їх іонами Zr з великим атомним радіусом і масою, а в шарах ZrN спостерігається релаксація деформації. Спостережувані ефекти пояснені підвищенням енергії осаджених іонізованих частинок при подачі – Us, що визначає радіаційно-стимульоване перемішування на міжфазних границях шарів і призводить до падіння твердості. Найбільша твердість 42 ГПа в системі ZrN/CrN досягається при осадженні тонких (20 нм) шарів у відсутності – Us.
Для многослойной системы ZrN/CrN с большим различием по атомным массам и радиационно-стимулированному дефектообразованию металлических составляющих, проанализировано влияние толщины слоев (в нанометровом диапазоне) и подаваемого при осаждении отрицательного потенциала смещения (– Us) на структуру и твердость композиционных вакуумно-дуговых покрытий. Установлено, что при толщине слоев менее 50 нм подача – Us приводит к росту микродеформации в слоях CrN при бомбардировке их ионами Zr с большим атомным радиусом и массой, а в слоях ZrN наблюдается релаксация деформации. Наблюдаемые эффекты объяснены повышением энергии осаждаемых ионизированных частиц при подаче – Us, что определяет радиационно-стимулированное перемешивание на межфазных границах слоев и приводит к падению твердости. Наибольшая твердость 42 ГПа в системе ZrN/CrN достигается при осаждении тонких (20 нм) слоев в отсутствии – Us.
For multilayer system ZrN/CrN with a large difference in the atomic weights and radiation-induced defect formation of metal components, analyzed the influence of the layer thickness (in the nanometer range) and supplied during the deposition negative bias potential (– Us) on the structure and hardness of the composite vacuum arc coating. It was established that at the layer thickness less than 50 nm supply – Us leads to an increase of microstrain in the CrN layers under bombardment by ions of Zr with a large atomic radius and the mass, and the strain relaxation is observed in layers of ZrN. The observed effects are explained by an increase in energy deposited ionized particles when applying – Us, which determines the radiation-induced mixing at interphase boundaries of layers and leads to a fall hardness. The highest hardness 42 GPa in the ZrN/CrN system is achieved upon deposition of thin (20 nm) layers in the absence of – Us.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Bermuda Bermuda
1
Canada Canada
1
China China
2
Finland Finland
1
France France
1
Germany Germany
4
Hungary Hungary
1
Italy Italy
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
159
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
4
Unknown Country Unknown Country
19
Uzbekistan Uzbekistan
1

Downloads

Bulgaria Bulgaria
1
China China
6
France France
2
Germany Germany
4
Portugal Portugal
1
Russia Russia
2
Ukraine Ukraine
160
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
13
Uzbekistan Uzbekistan
1
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Sobol_Andreev_Gorban_Meylekhov_Postelnyk_Stolbovoy.pdf 426,65 kB Adobe PDF 192

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.