Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45764
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Дифузійні бар'єри мікросхем на основі плівок W і Ti
Authors Подуремне, Д.В.
Keywords плівки
пленки
films
кристали
кристаллы
crystals
Type Conference Papers
Date of Issue 2016
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/45764
Publisher Сумський державний університет
License
Citation Подуремне, Д.В. Дифузійні бар'єри мікросхем на основі плівок W і Ti [Текст] / Д.В. Подуремне; кер. І.Ю. Проценко // Фізика, електроніка, електротехніка: матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 18-22 квітня 2016 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми: СумДУ, 2016. - С. 163.
Abstract На сучасному етапі розвитку мікроелектроніки актуальною залишається проблема термічної стабільності металізації кристалів. Для вирішення даної проблеми сформовані різні види багатошарових систем металізації, які у самому загальному випадку містять три основних шару: адгезійний, бар'єрний і захисний. При тривалому високотемпературному і струмовому навантаженні відбувається деградація мікроелектронної структури, а саме: втрата адгезії металізації; руйнування з'єднань між шарами; розплавлення бар'єрного шару.
Appears in Collections: Наукові видання (ЕлІТ)

Views

Canada Canada
1
China China
1
Finland Finland
1
France France
1
Germany Germany
7963
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Mexico Mexico
1
Netherlands Netherlands
1991
Romania Romania
1
Sweden Sweden
1
Ukraine Ukraine
449
United Kingdom United Kingdom
3982
United States United States
14918
Unknown Country Unknown Country
18

Downloads

China China
1
Germany Germany
3
Israel Israel
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
7963
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
1
Unknown Country Unknown Country
2

Files

File Size Format Downloads
Poduremne_crystals.pdf 463,58 kB Adobe PDF 7973

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.