Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/68411
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Тонкопленочные структуры на основе систем ZnO/SiC и ZnO/C
Other Titles Thin Film Systems Based on ZnO/SiC and ZnO/C
Authors Абдуев, А.Х.
Ахмедов, А.К.
Асваров, А.Ш.
Махмудов, С.Ш.
ORCID
Keywords тонкая пленка
магнетронное распыление
оксид цинка
углерод
карбид кремния
тонка плівка
оксид цинку
вуглець
карбід кремнію
thin film
magnetron sputtering
ZnO
carbon
SiC
Type Article
Date of Issue 2018
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/68411
Publisher Сумский государственный университет
License
Citation Тонкопленочные структуры на основе систем ZnO/SiC и ZnO/C [Текст] / А.Х. Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров, С.Ш. Махмудов // Журнал нано- та електронної фізики. - 2018. - Т.10, №2. - 02041. - DOI: 10.21272/jnep.10(2).02041.
Abstract Исследованы процессы магнетронного формирования тонкопленочных трехслойных структур ZnO/X/ZnO, где в качестве промежуточного слоя Х использованы аморфные слои углерода и карбида кремния. Исследованы процессы, происходящие на интерфейсах ZnO/углерод и ZnO/SiC при отжиге тонкопленочных структур в инертной атмосфере. Показано, что различия в морфологии и структуре слоев ZnO после отжига обусловлены различием химических реакций, протекающих на интерфейсах , и механизмов диффузии компонентов по межзеренным границам.
The processes of formation of Zn/X/ZnO three-layer structures (where X – intermediate layer of C or SiC) by magnetron sputtering are studied. The processes taking place at the ZnO/C and ZnO/SiC interfaces of the multylayered films upon annealing in an inert gas are investigated. It is shown that the differences in the morphology and structure of the ZnO sublayers after annealing are due to the difference in chemical reactions occurring at the interfaces and the diffusion mechanisms of the components along the grain boundaries.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Austria Austria
1
China China
526125674
Germany Germany
4051992
Greece Greece
1
Ireland Ireland
39223
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
31160779
United Kingdom United Kingdom
8103984
United States United States
-1797295072
Unknown Country Unknown Country
12
Uzbekistan Uzbekistan
12902

Downloads

China China
1
Germany Germany
1
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
1
Ukraine Ukraine
31160779
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
-1797295073
Unknown Country Unknown Country
6

Files

File Size Format Downloads
Abduev_carbon.pdf 258.19 kB Adobe PDF -1766134283

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.