Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/72569
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorSobol, O.V.-
dc.contributor.authorAndreev, A.A.-
dc.contributor.authorMeylekhov, A.A.-
dc.contributor.authorPostelnyk, А.А.-
dc.contributor.authorStolbovoy, V.A.-
dc.contributor.authorRyshchenko, I.M.-
dc.contributor.authorSagaidashnikov, Yu.Ye.-
dc.contributor.authorKraievska, Zh.V.-
dc.date.accessioned2019-03-14T12:07:49Z-
dc.date.available2019-03-14T12:07:49Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationThe Influence of Layer Thickness and Deposition Conditions on Structural State of NbN/Cu Multilayer Coatings [Текст] / O.V. Sobol, A.A. Andreev, A.A. Meylekhov [et al.] // Журнал нано- та електронної фізики. – 2019. – Т.11, № 1. – 01003(5cc). - DOI: 10.21272/jnep.11(1).01003.ru_RU
dc.identifier.urihttp://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/72569-
dc.description.abstractThe influence of the main physical and technological factors of structural engineering (layer thickness, nitrogen atmosphere pressure and bias potential) on the structural-phase state of the NbN/Cu coatings was studied. It was established that with an increase in the thickness of niobium nitride layers from 8 to 40 nm (in the NbN/Cu multilayer composition), the phase composition changes from the metastable NbN (cubic crystal lattice, NaCl structural type) to the equilibrium ε-NbN phase with a hexagonal crystal lattice. At low pressure PN = 7·10 – 4 Torr in thin layers (about 8 nm thick), regardless of the Ub, the-NbN phase is formed. The reason for the stabilization of this phase can be the uniformity of the metallic fcc crystal lattice of the δ-NbN phase with the Cu crystal lattice. As the pressure increases from РN = 7·10 – 4 Torr to 3·10 – 3 Torr, a more equilibrium ε-NbN phase with a hexagonal crystal lattice is formed. An increase in the bias potential during deposition from – 50 V to – 200 V mainly affects the change in the preferred orientation of crystallite growth. In thin layers of the -NbN phase (about 8 nm), a crystallite texture with the [100] axis is formed. In layers with a thickness of 40-120 nm, crystallites of the -NbN phase are predominantly formed with a hexagonal (004) plane parallel to the growth plane. At the greatest layer thickness (more than 250 nm), the NbN phase crystallites are predominantly formed with a (110) hexagonal lattice plane parallel to the growth plane. The results obtained show great potential for structural engineering in niobium nitride when it is used as a constituent layer of the NbN/Cu multilayer periodic system.ru_RU
dc.description.abstractДосліджено вплив основних фізичних та технологічних факторів структурного проектування (товщина шару, тиск атмосфери та потенціал відхилення) на структурно-фазовий стан оболонок NbN/Cu. Встановлено, що при збільшенні товщини шарів нітриду ніобію від 8 до 40 нм (в багатошаровій композиції NbN/Cu) відбувається зміна фазового складу від метастабільного NbN (кубічна кристалічна решітка, структурний тип NaCl) до рівноважної NbN фази з гексагональної кристалічною решіткою. При низькому тиску РN = 7·10 – 4 Торр в тонких шарах (товщиною близько 8 нм) незалежно від Ub відбувається формування NbN фази. Причиною стабілізації цієї фази може бути однотипність металевої ГЦК кристалічної решітки NbN фази з кристалічною решіткою Сu. При збільшенні тиску від РN = 7·10 – 4 Торр до 3·10 – 3 Торр відбувається утворення більш рівноважної NbN фази з гексагональної кристалічною решіткою. Збільшення потенціалу зміщення при осадженні від – 50 В до – 200 В в основному впливає на зміну переважної орієнтації зростання кристалітів. В тонких шарах -NbN фази (близько 8 нм) формується текстура кристалітів з вію [100]. У шарах товщиною 40-120 нм переважно формуються кристаліти -NbN фази з площиною гексагональної решітки (004) паралельною площині зростання. При найбільшій товщині шарів (більше 250 нм) відбувається переважне формування кристалітів NbN фази з площиною гексагональної решітки (110) паралельною площині зростання. Отримані результати показують великі можливості структурної інженерії в нітриді ніобію при його використанні в якості складового шару багатошарової періодичної системи NbN/Cu.ru_RU
dc.language.isoenru_RU
dc.publisherSumy State Universityru_RU
dc.subjectvacuum arcru_RU
dc.subjectNbN/Curu_RU
dc.subjectperiodru_RU
dc.subjectbias potentialru_RU
dc.subjectphase compositionru_RU
dc.subjectstructureru_RU
dc.subjectsolid solutionru_RU
dc.subjectвакуумна дугаru_RU
dc.subjectперіодru_RU
dc.subjectпотенціал зміщенняru_RU
dc.subjectфазовий складru_RU
dc.subjectструктураru_RU
dc.subjectтвердий розчинru_RU
dc.titleThe Influence of Layer Thickness and Deposition Conditions on Structural State of NbN/Cu Multilayer Coatingsru_RU
dc.title.alternativeВплив товщини шарів і умов осадження на структурний стан NbN/Cu багатошарових покриттівru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Files in This Item:
File Description SizeFormatDownloads 
Sobo_jnep_11_1_01003.pdf513.24 kBAdobe PDF11Download


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.